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Micro LED激光剝離設備

本設備是利用激光剝離技術對Micro LED 晶圓進行剝離加工

  • 咨詢電話:0512-65070150
  • 電子郵箱:yj.tao@delphilaser.com

■ 設備參數

◆ X軸:行程400mm,解析度0.1um

◆ Y軸:行程400mm,解析度0.1um

◆ 剝離作用材質:氮化鎵、BCB膠材等

◆ 加工產能:4-6min/片@4寸(折算UPH為10-15pcs)

◆ 加工產品尺寸:2-8寸wafer/12寸基板

◆ 剝離方式:1.激光掃描,從藍寶石面射入

         2.可提供逐點線掃(往復折線或回形等多種移動模式)


■ 設備優勢

◆ 良率高

◆ 效率高

◆ 可整面剝離/選擇性剝離


■ 應用領域

      應用于Micro LED晶圓剝離




更多信息

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