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碳化硅激光退火設備

本設備用于碳化硅的歐姆退火工藝,具備裸片自動上下料、晶圓自動校準等功能。 加工工藝效果優異;加工效率高;設備運行無需耗材,加工成本較低。

  • 咨詢電話:0512-6507 0150
  • 電子郵箱:yj.tao@delphilaser.com

■ 設備優勢

◆ 激光器自制,自主可控

◆ 工藝窗口較廣,可兼容其他材料的退火要求

◆ 符合SEMI行業標準


■ 應用領域

      應用于碳化硅晶圓片的背金激光退火(以碳化硅材料為基板的晶圓)。




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